Системы управления технологическим процессом производства микроэлектроники

Программа курса «Системы управления технологическим процессом производства микроэлектроники» предназначена для студентов, специалистов и всех желающих, кто хочет освоить востребованные компетенции в области автоматизации и контроля высокотехнологичных производств в сфере микроэлектроники.

Специалист по системам управления технологическими процессами — это инженер, который обеспечивает стабильность, качество и эффективность производства интегральных схем с использованием передовых систем автоматизации и аналитики.

Что вы узнаете на курсе:

• Кто такой инженер по управлению технологическими процессами и какова его роль на современном производстве.
• Основные этапы производства микроэлектроники: от выращивания кремниевых пластин до сборки и тестирования готовых микросхем.
• Ключевые технологические процессы: фотолитография, травление, осаждение тонких пленок, ионная имплантация.
• Важность систем контроля качества и управления выходом годных изделий (Yield Management).

Технология автоматизации и контроля:

• Принципы управления технологическими процессами: системы с обратной связью, ПИД-регуляторы, SCADA-системы.
• Продвинутое управление процессами (APC), статистическое управление процессами (SPC) и методы машинного обучения для прогнозирования и оптимизации.
• Измерительное оборудование: датчики температуры, давления, масс-спектрометры, толщиномеры, микроскопы.
• Промышленная автоматизация: программируемые логические контроллеры (PLC) и распределенные системы управления (DCS).

Практические навыки:

• Интеграция контрольно-измерительных приборов в автоматизированные системы сбора данных.
• Работа с программным обеспечением для виртуальных измерений и управления оборудованием.
• Применение методов статистического контроля для мониторинга вариабельности процессов и предотвращения брака.
• Калибровка и верификация измерительных систем для обеспечения точности и повторяемости результатов.

По окончании курса вы сможете:

• Понимать полный технологический цикл производства полупроводниковых приборов.
• Настраивать и контролировать параметры ключевых процессов (литография, травление, осаждение и др.).
• Использовать системы сбора данных и статистические методы для анализа эффективности производства.
• Работать с автоматизированными системами управления (АСУ ТП) в среде микроэлектронного производства.
• Выявлять и анализировать причины отклонений в технологическом процессе для повышения выхода годных изделий.
• Соблюдать требования чистоты, техники безопасности и стандарты качества, принятые в высокотехнологичной промышленности